北方华创申请承载装置以及半导体加工设备专利, 能够有效防止冷却液体发生泄漏

金融界2025年1月31日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置以及半导体加工设备”的专利，公开号CN119381287A，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，本发明提供一种承载装置以及半导体加工设备，承载装置包括固定部件以及设置于固定部件上方的可旋转的旋动部件，固定部件包括第一连接面，旋动部件包括用于承载晶圆的承载面，和背离承载面的第二连接面，第一连接面与第二连接面贴合设置；固定部件包括固定主体和设置于固定主体中的用于供冷却液体流动的冷却通道，冷却通道通过固定主体与旋动部件的热交换来冷却旋动部件。借助本发明提供的承载装置，能够使晶圆在加工过程中进行旋转的同时，简化了密封结构，提高了密封的效果并能够有效防止冷却液体发生泄漏。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自：金融界